稀土
共1條篩選結(jié)果
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作為半導(dǎo)體製造設(shè)備內(nèi)部的保護(hù)性塗層，半導(dǎo)體乾蝕設(shè)備內(nèi)部暴於高反應(yīng)性鹵素或氧系電漿。若非耐電漿材料元件如，石英玻璃、氧化鋁和陽(yáng)極化的鋁以原本狀態(tài)使用，則會(huì)發(fā)生表面腐蝕而伴隨著生成粒子，其造成半導(dǎo)體上之微
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